Vörur

Hálf - sjálfvirk efnafræðileg vélræn fægja vél

Þetta sveigjanlega CMP kerfi skilar High - Precision, High - skilvirkni stak - hliðar fægja fyrir samsíða planar yfirborð yfir öll samhæf efni.

Lögun

Semi - sjálfvirk efnafræðileg vélræn fægja vél framkvæmir stakan - hliða CMP á undir-200mm Wafers og hörð brothætt efni, þar á meðal:

Semiconductor ferli: Si CMP, oxíð CMP (BPSG, TEOS, Thox), Metal CMP (W, Cu), dielectric kvikmyndir og STI forrit

Sérefni: Kísilkarbíð (sic), safírskaftur, germanium wafers, litíum niobate og gler undirlag

Þetta sveigjanlega CMP kerfi skilar High - Precision, High - skilvirkni stak - hliðar fægja fyrir samsíða planar yfirborð yfir öll samhæf efni.

SAP200-S

Líkananúmer		SAP200-S
Fægja diskur	Þvermál	Φ510mm (20 '')
	Númer	1
	Neðri skífuhraði	0-200 rpm
Fægja höfuð	Vinna úr vinnuhlutum	4 ''/6 ''/8in
	Þrýstingsaðferð	Sveigjanleg þrýstingur á loftpúðum (3-svæði þrýstingur)
	Hraði	0-200 rpm
	Númer	1
Precision Index	Neðri endinn hoppar	Minna en eða jafnt og 0,01 mm
Precision Index	Flatness neðri plötunnar	Minna en eða jafnt og 0,008mm
Búnaðarstærð (l * w * h)		2150mm1100mm2150mm
Þyngd tæki		2000kg